一．概述： PBS-510xx-C1型电容薄膜真空计是PBS-510系列薄膜真空计产品型号之一（全系列产品型号及分类参见附录1）。其主要特点是精度等级较高、计量可重复性好、采用DB15D电缆插座（线位与MKS600系列等薄膜真空计相同.可以替代使用）。PBS-510xx-C1型电容薄膜真空计，从测量机理上，它具有传统的电容薄膜规特有的良好的线性度、测量值与被测气体成分无关等优点；从其结构上，它采用