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高精度陶瓷薄膜真空计具有长期稳定性和温度补偿能力

发表时间:2022-05-29  |  点击率:161
   高精度陶瓷薄膜真空计是高精度温度补偿型真空计设计,主要用于在严酷的制造工具环境中,具有稳定的性能。先进的数字电子学提高真空计的性能和提供容易操作的特点如一键调零的功能和设点调整;抗腐蚀的超纯陶瓷传感器提供零点稳定性,以及引起能达到数百万次压力循环包括大气冲击的长的使用寿命。*的传感器屏蔽保护真空计防止过程污染;经久耐用的机械结构和数字电子学提高EMC兼容性,长期稳定性和温度补偿能力。
  
  它作为一种真空度传感器在众多领域应用普遍,并需要进行定期校准。而真空计校准装置是包含了真空标准器、真空泵、真空阀门及连接管路在内的一整套测量系统,一般体积较大,不便移动,多在实验室内固定使用。现有的真空计校准方式大多是将现场使用的真空计拆下送检。
  
  为满足现场校准的需求,需要解决以下几方面的问题:
  (1)减小相关部件的尺寸,使真空计校准装置便于携带。
  (2)采用数控和电动阀门,提高气体流量调节的精密度。
  (3)改进真空度控制方式,提高真空度控制精度和稳定性。
  
  高精度陶瓷薄膜真空计应用:
  半导体制造设备用于刻蚀,CVD,PVD,ALD
  数据存储和OLED,LCD制造设备
  工业真空设备
  混气实验设备
  一般高精度压力测量
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