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标准电容薄膜真空计要如何校准?

发表时间:2021-07-22  |  点击率:125
  标准电容薄膜真空计可分为绝对式和差压式。把0帕定作零点标准的规称为绝对式,把任意压力值定作零点标准的规称作差压式。它的优点主要是性能稳定,精确度高,灵敏度与气体种类无关;结构牢固、抗振动、寿命长;并可测蒸气和腐蚀性气体的压力。缺点主要是预热时间很长,可能会影响工作。
  校准标准电容薄膜真空计时,应注意以下五点:
  (1)传感器调零时,首先应用标准信号将控制线路的零点和满度调好,将温度补偿器调到所需要的位置上,测量中不可随意变动。
  (2)传感器调零应在其预热4小时后进行,必要时可(10~24)小时的恒温加热,才能使电容规达到最佳零点,也才能测得更精确。
  (3)传感器调零的位置,应比校准范围下限低2~3个量级。如量程是1000Torr,则校准范围是133. 3Pa~133300Pa。零点在真空系统抽到1. 3Pa 或0.13Pa位置左右时才能调节,其余量程以此类推。
  (4)调零以后,校准过程中环境温度不能有骤然变化的现象发生。
  (5)在校准过程中,避免传感器过大的振动。
  压力测量中,除极少数直接测量外,绝大多数是间接测量。就是先在被测气体中引起一定的物理现象,然后再测量这一过程中与压力有关的物理量,进而设法确定压力值。这是真空测量的特点,亦会造成某些问题。
  1、真空计(Vacuum gauge)是测量低于一个大气压力的气体或蒸气压力的仪器。
  2、绝对真空计是从真空计本身测得的物理量直接计算出(或得出)压力的仪器。
  3、相对真空计则是必须经过绝对真空计的校准之后才能进行真空度的测量。
  任何具体物理现象与压力的关系,都是在某一压力范围内,超出这个范围,关系变得弱了。因此,任何方法都有其一定的测量范围,这个范围就是真空计的“量程”。尽可能扩展每一种方法的量程,是真空科学研究的重要内容之一。近代真空技术所涉及到的压力范围宽达19个数级(105~10-14 Pa),没有任何一种真空计能测量如此宽的压力范围,因此总是用几种真空计分别管辖一定的区域。但由于各种真空计在原理上的差异.在相互衔接的区域,往往要造成较大的误差。由上观之,为改善真空计性能及提高真空测量准确度,必须突出主要现象,抑制寄生现象。表1给出一些真空计的压力测量范围。
  在较高压力时(105~1Pa)利用压力差U型管压力计,麦克劳真空计,标准电容薄膜真空计,弹簧管压力计等。 在103~10-2 Pa的中间压力范围,利用气体性质(热传导,粘性)的变化而做成的皮氏计、粘性真空计。在低压力时,使用将气体分子电离而测量的电离真空计。
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