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校准高精度薄膜真空计时,需要注意些什么?

发表时间:2020-06-10  |  点击率:338
  高精度薄膜真空计可分为式和差压式。把0帕定作零点标准的规称为式,把任意压力值定作零点标准的规称作差压式。它的优点主要是性能稳定,精确度高,灵敏度与气体种类无关;结构牢固、抗振动、寿命长;并可测蒸气和腐蚀性气体的压力。缺点主要是预热时间很长,可能会影响工作。
  校准电容高精度薄膜真空计时,应注意以下五点:
  (1)传感器调零时,首先应用标准信号将控制线路的零点和满度调好,将温度补偿器调到所需要的位置上,测量中不可随意变动。
  (2)高精度薄膜真空计传感器调零应在其预热4小时后进行,必要时可(10~24)小时的恒温加热,才能使电容规达到zui佳零点,也才能测得更精确。
  (3)传感器调零的位置,应比校准范围下限低2~3个量级。如量程是1000Torr,则校准范围是133. 3Pa~133300Pa。零点在真空系统抽到1. 3Pa 或0.13Pa位置左右时才能调节,其余量程以此类推。
  (4)调零以后,校准过程中环境温度不能有骤然变化的现象发生。
  (5)高精度薄膜真空计在校准过程中,避免传感器过大的振动。
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