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简述电容薄膜真空计的测量原理

发表时间:2022-12-21  |  点击率:56
  电容薄膜真空计采用进口的陶瓷薄膜传感器,精度高、重复性好、物理特性稳定。可接两路电容薄膜规,控制最多四路继电器触点输出,还具有模拟量输出、串口通讯等功能。适用于精度要求较高的中、低真空测量和控制。
 
  其测量原理可概括为:
 
  压力→形变→电容值变化→电压变化。传感器不与真空环境的气体直接接触,因此测量性能与气体成份无关。相较于电阻规、热偶规,无需考虑水蒸气、氧气、轻微腐蚀性气体对规管的伤害,适合用于复杂气体成分的真空环境。整机采用全铝合金机壳,坚固可靠,电磁屏蔽性能好,能在恶劣的工业环境中使用。
 
  根据弹性薄膜在压差作用下产生形变而引起电容变化的原理制成的真空计称为电容薄膜真空计。它由电容式薄膜规管(又称为电容式压力传感器)和测量仪器两部分组成。根据测量电容的不同方法,仪器结构有偏位法和零位法两种。零位法是一种补偿法,具有较高的测量精度。目前在计量部门作为低真空副标准真空计的就是采用零位法结构。
 
  基于一些特定的粗、低真空设备内被测气氛复杂,一般均非单一气体(如空气或氮气等)成份﹙如含有占比较多的氢气、碳氢化合物、惰性气体等特殊气体﹚,但常用的相对真空计如热导式热偶计、电阻计(皮拉尼真空计)由于测量值与气体成份有关,因此此类真空计均不能满足这种复杂气氛测量与控制的需要,亦即应选用测量值与气体成份无关的真空计。
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