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电容薄膜真空计能够用在高温、强腐蚀性、易燃易爆气体的真空测量吗??

发表时间:2021-04-26  |  点击率:348
 电容薄膜真空计的测量原理概述:
  
  隔膜材料通常使用厚度为几十微米的因科内尔铬镍铁合金(Inconel)。为避免腐蚀气体的腐蚀,也有使用陶瓷隔膜的产品。
  电容式隔膜真空计测量的真空度与气体成分无关,反应快、重复性高,非常适合于氧气及油蒸气等特殊环境的真空测量。
  金属弹性膜片将薄膜真空规管隔离成两个室,分别为接被测真空系统的测量室和接高真空系统(pb<10-3Pa)的参考压力室。在这两个室的连通管道上设置一个高真空阀门7。测量时,先将阀门7打开,用高真空抽气系统将规管内膜片两侧的空间抽至参考压力pb。同时调节测量电桥电路,使之平衡,即指示仪表指零。然后,关闭阀门7,测量室接通被测真空系统。当被测压力Pl>Pb时,由于规管中的压力差p1-pb,膜片发生应变引起电容C0改变,破坏了测量电桥电路的平衡,指示仪表上亦有相应的指示。调节直流补偿电源电压对电容C0充电,使其静电力与压差相等,此时,电桥电路重新达到平衡,指示仪表又重新指零。根据补偿电压的大小,就能得出被测压力p1,故有
  p1-pb=KU2 (12)
  式中p1——被测压力
  pb——参考压力
  U——补偿电压
  K——规管常数,其值K=Co/d0,Co和d0分别为固定电极与膜片在平衡状态下的静态电容和间距。
  当p1》p0时,测量结果就是绝对压力,即
  p1=KU2 (13)
  电容式薄膜真空计测量范围为10-1~101Pa,其规管常数K可通过校准得到。
  近年来,电容式薄膜真空计取得了重大进展,新型的双电容式薄膜真空计的问世,提高了该类真空计的精度,扩展了测量范围,使其测量下限可达lO-3Pa。
  单侧双电容薄膜真空计具有灵敏度高、气体的介电常数不变、压力读数完全不受气体成分影响、反应速度快等特点。如将其规管参考室内加置消气剂并抽至≤lO-5Pa,就可测量≥lO-3pa的绝对压力。
     (待续)
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