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选择标准电容薄膜真空计原则有哪些?

发表时间:2021-03-16  |  点击率:81
    压力测量中,除极少数直接测量外,绝大多数是间接测量。就是先在被测气体中引起一定的物理现象,然后再测量这一过程中与压力有关的物理量,进而设法确定压力值。这是真空测量的特点,亦会造成某些问题。
  任何具体物理现象与压力的关系,都是在某一压力范围内,超出这个范围,关系变得弱了。因此,任何方法都有其一定的测量范围,这个范围就是标准电容薄膜真空计的“量程”。尽可能扩展每一种方法的量程,是真空科学研究的重要内容之一。近代真空技术所涉及到的压力范围宽达19个数级(105~10-14pa),没有任何一种标准电容薄膜真空计能测量如此宽的压力范围,因此总是用几种标准电容薄膜真空计分别管辖一定的区域。但由于各种标准电容薄膜真空计在原理上的差异.在相互衔接的区域,往往要造成较大的误差。
  在被测空间引起一定物理现象,还会出现这样的问题,即从测量的角度出发,本需要一种单纯的物理现象,但有时却不可避免地带来一系列寄生现象,这些寄生现象不但给测量量带来误差,有时还会“喧宾夺主”,完全把主要现象掩盖住了。
  由上观之,为改善标准电容薄膜真空计性能及提高真空测量准确度,必须突出主要现象,抑制寄生现象。
  真空测量特点
  1、测量压力范围宽,105~lO-14Pa。
  2、大部分标准电容薄膜真空计是间接测量,只有压力为105~lOPa时,可直接测单位面积所受的力。但大多数真空测量的压力远比上述为小,不能直接测量,应利用低压下气体的某些特性(如热传导、粘滞性和电离等)进行间接测量。
  3、多采用非电量电测技术。
  4、大部分标准电容薄膜真空计的读数与气体种类和成分有关。所以测量时要特别注意被测量气体种类和成分.否则会造成很大误差。
  5、测量精度不高。
  选择标准电容薄膜真空计原则
  1、在要求的压力区域内有要求的精度。
  2、被测气体是否会损伤标准电容薄膜真空计;标准电容薄膜真空计可否会给被测气体状态带来影响。
  3、能测全压力吗?可校准吗?灵敏度与气体种类有关否。
  4、可否连续指示、电气指示以及反应时间长短。
  5、稳定性、复现性、可靠性和寿命如何。
  6、要看标准电容薄膜真空计的安装方法、操作性能、保修、管理、市场有无销售、购买的难易程度和规格如何。
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