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选用高精度真空计,这些因素要考虑好

发表时间:2021-02-03  |  点击率:32
  真空测量就是真空度的测量,而真空度是指低于大气压力的气体稀薄程度。以压力表示真空度是由于历史上沿用下来的,并不十分合理。压力高意味着真空度低;反之,压力低与真空度高相对应。
  高精度真空计(真空规)就是依据各种原理制作成用来测量真空状态下压力大小的真空传感器。根据中华人民共和国国家标准(GB7665—87),传感器(Transducer/Sensor) 的定义是:能感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件或装置。传感器是一种以一定的准确度把被测量对象转换为与之有确定对应关系的、便于应用的某种物理量的测量装置。高精度真空计(真空规)就是以一定的精度将真空压力转化为有确定关系的电压电流值的测量装置,是传感器的一种,在一个系统中的功能和温度计,磁力计,光感计等等,没有什么本质的区别。
  选用高精度真空计,一般要考虑以下几个方面:
  1)信号的接受。高精度真空计将真空压力转换成电信号后,可有两种形式被系统接受,可以是数字信号,可以是模拟信号。根据系统的需要来选择。
  2)真空测量范围。不同的高精度真空计,量程是不一样的,我们需要根据不同工艺的不同真空要求来选择对应的高精度真空计。真空包装用的高精度真空计和半导体镀膜用的高精度真空计肯定是不一样类型的产品。
  3)使用的环境。很重要一点就是有无辐射,还有就是有无腐蚀,污染是否严重等等都需要考虑,才能选择一款适用的高精度真空计。
  4)要求的精度。如果选用的一款高精度真空计测出来的数据,根本不能让你相信,精度达不到要求,那还不如不测。或者误差超出了工艺的要求,就会给生产过程带来麻烦,产品质量受影响,也是得不偿失的。
  高精度真空计根据使用环境
  1.腐蚀性环境
  如果所测真空对象中有酸性,碱性等腐蚀性气体,如SO2,NH3,CL2等等,选用的真空配件包括高精度真空计,都必须是抗腐蚀的。不然会造成测量不准,高精度真空计损坏等等一系列问题。
  数字型高精度真空计都不防腐蚀,所以在腐蚀性环境中无法使用,只能选用皮拉尼高精度真空计产品。的高精度真空计系列包含防腐蚀高精度真空计,覆盖全部真空测量范围。如薄膜高精度真空计全系列,电容薄膜高精度真空计全系列,皮拉尼高精度真空计,冷阴极离子高精度真空计全系列,热阴极离子高精度真空计等等,都具有防腐蚀功能。
  防腐蚀高精度真空计,是通过使用防腐蚀探测元件,防腐蚀密封件,接口部分选用不锈钢,来实现整个高精度真空计的防腐蚀功能。
  2.强辐射环境
  对于在辐射环境中使用的高精度真空计,还提供了一个系列产品:模拟型高精度真空计。只有探头部分,没有任何电子线路部分,所以适用于高辐射环境中。这类产品必须要和高精度真空计控制器TPG 300一起使用,TPG 300内的控制板是可以根据客户的需要灵活配置的。TPG 300的输出接口板既有工业标准总线接口如RS-232,RS-485等,也有继电器功能输出。
  3.污染严重的环境
  对于测量对象是有粉尘和污染严重的情况,一个选用抗污染能力强的高精度真空计,如薄膜高精度真空计全系列,电容薄膜高精度真空计全系列。另一个只能在安装位置和安装方式上去考虑,尽量减轻污染对高精度真空计的影响。使用过程中也需要加强检查和保养,才能达到较好的使用效果。如对高真空和超高真空的测量,只能选用离子高精度真空计,而离子高精度真空计对污染和溅镀性气体都比较敏感,这种情况下,就只能在安装和使用上去想办法了。
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