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真空镀膜设备选用要点

发表时间:2021-01-19  |  点击率:308
 薄膜是一种物质形态,它所使用的膜材料非常广泛,可以是单质元素或化合物,也可以是无机材料或有机材料。薄膜与块状物质一样,可以是单晶态的,多晶态的或非晶态的。近年来功能材料薄膜和复合薄膜也有很大发展。镀膜技术及薄膜产品在工业上的应用非常广泛,尤其是在电子材料与元器件工业领域中占有及其重要的地位。
  镀膜方法可以分为气相生成法,氧化法,离子注入法,扩散法,电镀法,涂布法,液相生长法等。气相生成法又可分为物理气相沉积法,化学气相沉积法和放电聚合法等。
  真空蒸发,溅射镀膜和离子镀等通常称为物理气相沉积法,是基本的薄膜制备技术。它们都要求淀积薄膜的空间要有一定的真空度。所以,真空技术是薄膜制作技术的基础,获得并保持所需的真空环境,是镀膜的必要条件。
  真空系统的种类繁多。在实际工作中,必须根据自己的工作重点进行选择。典型的真空系统包括:获得真空的设备(真空泵),待抽空的容器(真空室),测量真空的器具(真空计)以及必要的管道,阀门和其它附属设备。
  ▲炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。
  ▲加热形式有电阻及感应式两种,电阻加热材料有钼丝(带)、钨丝(带)、石墨棒(板)、钽棒、镍铬丝(带)几种类型,可根据不同的温度和工艺要求进行选择。
  ▲加热保温层有金属型和复合型两种,根据不同工艺条件进行选择。
  ▲真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵等以及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成,根据工艺要求可自行选择。
  ▲温度控制系统可选择不同类型的测温仪、控温仪表及它们的传感元件。
  ▲真空测量可选择数字式智能真空计及优质的测量规管,确保真空度的准确性及产品可靠性。
  ▲可以配备多点记录仪,进行全程工艺分析、质量监控及生产管理。
  ▲根据设备使用特点,可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。
  ▲可根据使用要求配有各种充气类型、质量流量计、浮子流量计等,满足充气压力可控、多路充气等要求。
  ▲对超温、温度偏差大、炉体、泵、热交换器等缺水、扩散泵缺相、炉体充气过压、气源压力不足、过流过压、断路等异常情况进行声光报警并执行相应保护措施。
  ▲快冷却系统可选择自然冷却及热交换器循环方式,对于容量大的电炉可采用外循环快冷却系统,提高降温速度。
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