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隔膜真空计都有哪些应用?

发表时间:2021-01-15  |  点击率:315
  隔膜真空计是一种高精度真空测量仪器,专为恶劣的制造环境而设计。经过验证的温控,耐腐蚀,超纯陶瓷传感器可在多年内提供的跨度稳定性,并具有*的零稳定性。附带独特传感器屏蔽,可保护仪表免受不良过程副产品的影响。先进的电子元件为所有应用和可选的现场总线接口提供广泛的可配置信号调理。创新的加热概念使触摸表面更加凉爽,节省了宝贵的工具空间。是同类产品中小的真空测量仪器。
  隔膜真空计特点:
  紧凑,节省宝贵的工具空间
  易于集成,各种满量程和法兰,标准有两个设定点
  轻松一键式或远程信号零点命令,零点偏移可调
  诊断端口,用于快速维护和维护
  两年保修,更长的使用寿命,先进的加热概念和仪表保护
  即使在恶劣的等离子应用中,由于出色的信号稳定性和可重复性,也无需长期重新校准
  合规性和标准:CE,EN,UL,SEMI,RoHS
  典型应用
  CVD,蚀刻,PVD和其他半导体生产工艺
  隔膜真空计是利用隔膜在气体分子作用下发生变形而测量压强的真空计,其基本原理所示。电容式隔膜真空计内部有两个空间,隔膜右侧连接真空,左侧的参照空间可以保持在大气压或其他一定的真空度。如果p2 <p1,则隔膜就向右侧变形;反之,就向左侧变形。隔膜和电极之间处于绝缘状态,两者之间的距p1 和p2之间的压强差很小时,隔膜的变形也很小,要测量真空度,需要隔膜更薄。可是,如果两侧压强差很大,则隔膜可能发生永玖变形甚至破损。通常情况下,为了防止隔膜过度变形,在电极和隔膜之间施加直流电压,通过静电引力使隔膜不发生变形。通过测量直流电压值,即可知压强,这种真空计被称为单电容隔膜真空计。在隔膜两侧分别设置电极而实现的差动式双电容隔膜真空计,进一步提高了测量精度和范围。隔膜材料通常使用厚度为几十微米的因科内尔铬镍铁合金。为避免腐蚀气体的腐蚀,也有使用陶瓷隔膜的产品。电容式隔膜真空计测量的真空度与气体成分无关,反应快、重复性高,非常适合于氧气及油蒸气等特殊环境的真空测量。离随p2 的变化而改变,从而引起其间的电容变化。反过来,通过测量隔膜和电极之间的电容,就可知隔膜的变形量,继而推算出压强。
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