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高精度薄膜真空计的压力测量范围都是哪些?

发表时间:2020-12-21  |  点击率:77
 高精度薄膜真空计测量范围
  压力测量中,除极少数直接测量外,绝大多数是间接测量。就是先在被测气体中引起一定的物理现象,然后再测量这一过程中与压力有关的物理量,进而设法确定压力值。这是真空测量的特点,亦会造成某些问题。
  任何具体物理现象与压力的关系,都是在某一压力范围内才好,超出这个范围,关系变得弱了。因此,任何方法都有其一定的测量范围,这个范围就是高精度薄膜真空计的“量程”。尽可能扩展每一种方法的量程,是真空科学研究的重要内容之一。近代真空技术所涉及到的压力范围宽达19个数级(105~10-14pa),没有任何一种高精度薄膜真空计能测量如此宽的压力范围,因此总是用几种高精度薄膜真空计分别管辖一定的区域。但由于各种高精度薄膜真空计在原理上的差异.在相互衔接的区域,往往要造成较大的误差。
  在被测空间引起一定物理现象,还会出现这样的问题,即从测量的角度出发,本需要一种单纯的物理现象,但有时却不可避免地带来一系列寄生现象,这些寄生现象不但给测量量带来误差,有时还会“喧宾夺主”,完全把主要现象掩盖住了。
  由上观之,为改善高精度薄膜真空计性能及提高真空测量准确度,必须突出主要现象,抑制寄生现象。表1给出一些高精度薄膜真空计的压力测量范围。
  表1 一些高精度薄膜真空计的压力测量范围
  名称 测量范围(Pa) 真空计名称 测量范围(Pa)
  水银U型管 105~10
  高真空电离真空计 10-1~10-5
  油U型管 104~1
  高压力电离真空计 102~10-4
  光干涉油微压计 1~10-2
  B-A计 10-1~10-8
  压缩式真空计(一般型) 10-1~10-3
  宽量程电离真空计 10~10-8
  压缩式真空计(特殊型) 10-1~10-5
  放射性电离真空计 105~10-1
  弹性变形真空计 105~102
  冷阴极磁放电真空计 1~10-5
  薄膜真空计 105~10-2
  磁控管型电离真空计 10-2~10-11
  振膜真空计 105~10-2
  热辐射真空计 10-1~10-5
  热传导真空计(一般型) 102~10-1
  分压力真空计 10-1~10-14
  热传导真空计(对流型) 105~10-1
  真空测量特点
  (1)测量压力范围宽,105~lO-14Pa。
  (2)大部分高精度薄膜真空计是间接测量,只有压力为105~lOPa时,可直接测单位面积所受的力。但大多数真空测量的压力远比上述为小,不能直接测量,应利用低压下气体的某些特性(如热传导、粘滞性和电离等)进行间接测量。
  (3)多采用非电量电测技术。
  (4)大部分高精度薄膜真空计的读数与气体种类和成分有关。所以测量时要特别注意被测量气体种类和成分.否则会造成很大误差。
  (5)测量精度不高。
  选择高精度薄膜真空计原则
  (1)在要求的压力区域内有要求的精度。
  (2)被测气体是否会损伤高精度薄膜真空计;高精度薄膜真空计可否会给被测气体状态带来影响。
  (3)能测全压力吗?可校准吗?灵敏度与气体种类有关否。
  (4)可否连续指示、电气指示以及反应时间长短。
  (5)稳定性、复现性、可靠性和寿命如何。
  (6)还要看高精度薄膜真空计的安装方法、操作性能、保修、管理、市场有无销售、购买的难易程度和规格如何。
  除上述应考虑的问题外,还要查阅参考书、样本或直接向生产工厂询问。
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